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二氧化碳(CO2)
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二氧化碳(CO2)

? 可用于支持先進的浸沒光刻,專用低溫清洗應用及DI(去離子水)處理。工業上廣泛應用于激光切割機的激光氣體,科研上用于胚胎等細胞培養,醫藥實驗室的超臨界萃取等。半導體工業中用于光刻工序中的二氧化碳激光脈沖,以及氧化、擴散、化學氣相沉積、離子刻蝕工序、晶圓低溫清洗工序中。
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