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一氧化碳(CO)
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一氧化碳(CO)

? 廣泛應用于芯片、平板等半導體制程中,是等離子輔助氣相沉積腔體的金屬雜質吹掃氣,以及新一代重要的離子刻蝕氣體,是多晶硅碳化硅外延層的碳源、部分重要醫藥中間體和一氧化碳激光器等高精尖行業的重要原料。
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高純氣
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