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氟基激光混配氣(F2-Ar-Ne)
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氟基激光混配氣(F2-Ar-Ne)

廣泛應用在臨床醫學例如激光視力矯正、心血管疾病治療以及科學研究;工業上的激光切割機的激光切割氣,可用于磁頭與光學鏡片、微機電系統、光纖制造等微制造技術;半導體工業中可用于光刻工藝的準分子光刻氣、薄膜工藝、離子刻蝕、摻雜工藝中的通道清潔、硅晶圓的清潔等。
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混配氣
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